Том 320 № 3 (2012): Химия
Фототравление пленок диоксида кремния в донорно-акцепторных композициях
Представлены экспериментальные результаты по фотоактивированному травлению диэлектрических слоев SiO2, используемых в планарной технологии микроэлектроники. Показано, что композиции, содержащие в своем составе доноры и акцепторы протонов и фтор-содержащие соединения, обеспечивают высокую скорость травления диоксида кремния за счет высвобождения ионов фтора из сольватной оболочки и их активации при УФ облучении.
Ключевые слова:
фототравление, доноры, акцепторы, диоксид кремния, радикалы, десольватация, протофильные реагенты, экспериментальные результаты, фторсодержащие соединения
