Актуальность работы обусловлена увеличивающимся интересом к использованию электронно-пучковых обработок как к средству прецизионного изменения структурно-фазовых состояний и, следовательно, свойств поверхности и поверхностных слоев металлических материалов. Цель работы: Изучить закономерности изменения структурно-фазовых состояний в поверхностных слоях никелида титана в зависимости от параметров электронно-пучковых воздействий. Методы исследования: Рентгеноструктурные исследования проведены на дифрактометре ДРОН-7 и Shimadzu XRD-6000. Для анализа фазового состава в поверхностных и более глубоких слоях использовали симметричные (Брэгга-Брентано) и асимметричные схемы съемок. Микроструктуру приповерхностных слоев образцов TiNi исследовали с использованием методов просвечивающей электронной микроскопии на микроскопе JEM 2100. Результаты: Обнаружено, что после облучения электронными пучками при плотностях энергии Е1=15, Е2=20 и Е3=30 Дж/см2 в образцах TiNi, кроме дифракционных рефлексов от фазы В2, на рентгенограммах наблюдаются рефлексы, соответствующие мартенситной фазе В19' и отсутствуют рефлексы от фазы Ti2Ni, наблюдавшиеся на рентгенограммах исходных образцов. Показано, что сформированная в модифицированном слое высокотемпературная фаза В2 обогащена титаном, по сравнению с его исходным содержанием в этой фазе до облучения. Установлено, что при использовании электронных пучков плотностями энергии Е1=15 и Е2=20 Дж/см2 мартенситная фаза В19' в модифицированном поверхностном слое образцов TiNi отсутствует, тогда как после обработки при Е3=30 Дж/см2 толщина слоя, содержащего мартенситную фазу, существенно увеличивается и включает в себя часть переплавленного электронным пучком слоя.