Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика

Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током

Рассмотрена проблема образования внутреннего градиента температуры в кремниевых стержнях во время парофазного химического осаждения поликристаллического кремния в Siemens-ректоре. Показаны способ и устройство с автоматической системой управления, позволяющие значительно снизить градиент температуры. С помощью математической модели разработана наиболее эффективная структура силовой части источника переменного тока и проверена устойчивость САУ источника.

Ключевые слова:

Siemens-реакторы, поликристаллический кремний, математическое моделирование, источники, переменный ток, системы автоматического управления, труды учёных ТПУ, электронный ресурс,

Авторы:

Горюнов Алексей Германович

Курочкин Владимир Александрович

Чучалин Иван Петрович

Москалев Владилен Александрович

Скачать PDF