Т. 320, № 3 : Химия

Фототравление пленок диоксида кремния в донорно-акцепторных композициях

Представлены экспериментальные результаты по фотоактивированному травлению диэлектрических слоев SiO2, используемых в планарной технологии микроэлектроники. Показано, что композиции, содержащие в своем составе доноры и акцепторы протонов и фтор-содержащие соединения, обеспечивают высокую скорость травления диоксида кремния за счет высвобождения ионов фтора из сольватной оболочки и их активации при УФ облучении.

Ключевые слова:

фототравление, доноры, акцепторы, диоксид кремния, радикалы, десольватация, протофильные реагенты, экспериментальные результаты, фторсодержащие соединения, электронный ресурс,

Авторы:

Гудымович Array

Ванифатьева Array

Скачать PDF