Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена

С использованием численного моделирования исследовано распределение некогерентных примесей в расплаве при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена. Анализировалось влияние азимутально-неоднородного нагрева боковой стенки тигля на распределение вытесняемого вещества вблизи фронта кристаллизации. Процессы рассматривались в диапазоне параметров, соответствующих реальным температурам в ростовой печи и расплаве, размерам и форме тигля. Из полученных результатов следует, что неоднородный разогрев расплава изменяет структуру конвективных течений, которые в случаях плоского или выпуклого фронтов кристаллизации способствуют оттеснению растворенной примеси к стенкам тигля.

Ключевые слова:

моделирование, тепломассоперенос, конвекция, поликристаллический кремний, метод Бриджмена, неоднородный разогрев, расплавы, конвективные течения, кристаллизация, фронт, примеси, электронный ресурс,

Авторы:

Цивинская Array

Попов Array

Скачать PDF